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作者 標題 [新聞] 生產3奈米晶片！陸半導體技術重大突破「
時間 Tue Mar 25 15:19:57 2025
原文標題：生產3奈米晶片！陸半導體技術重大突破「不同於ASML」
※請勿刪減原文標題
原文連結：
https://bit.ly/4hIRq3A
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發布時間：
12:232025/03/25
工商 賴瑩綺
※請以原文網頁/報紙之發布時間為準
記者署名：
12:232025/03/25
工商 賴瑩綺
※原文無記載者得留空
原文內容：
大陸快科技報導，中國科學院研發除了突破性的固態DUV（深紫外線）雷射，可發射193nm的
相干光，與目前主流的DUV曝光波長一致，能將半導體製程推進至3nm。
據悉，ASML、佳能、Nikon的DUV光刻機都採用了氟化氙（ArF）準分子雷射技術，透過氬、
氟氣體混合物在高壓電場下生成不穩定分子，釋放出193nm波長的光子，然後以高能量的短
脈衝形式發射，輸出功率100-120W，頻率8k-9kHz，再透過光學系統調整，用於曝光設備。
中科院的固態DUV雷射技術完全基於固態設計，由自製的Yb:YAG晶體放大器產生1030nm的雷
射，在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。之後，轉換後的兩路雷射透過串級硼酸鋰（
LBO）晶體混合，產生193nm波長的雷射光束。
氟氣體混合物在高壓電場下生成不穩定分子，釋放出193nm波長的光子，然後以高能量的短
脈衝形式發射，輸出功率100-120W，頻率8k-9kHz，再透過光學系統調整，用於曝光設備。
中科院的固態DUV雷射技術完全基於固態設計，由自製的Yb:YAG晶體放大器產生1030nm的雷
射，在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。之後，轉換後的兩路雷射透過串級硼酸鋰（
LBO）晶體混合，產生193nm波長的雷射光束。
最後獲得的雷射平均功率為70mW，頻率為6kHz，線寬低於880MHz，半峰全寬（FWHM）小於0.
11皮米（千分之一奈米），光譜純度與現有商用準分子雷射系統相當。基於此，可用於3nm
的製程節點。
11皮米（千分之一奈米），光譜純度與現有商用準分子雷射系統相當。基於此，可用於3nm
的製程節點。
報導稱，這種設計可以大幅降低微影系統的複雜度、體積，減少對於稀有氣體的依賴，並大
幅降低能耗。
報導指出，這種全固態DUV光源技術雖然在光譜純度上已經和商用標準相差無幾，但是輸出
功率、頻率都還低很多。對比ASML的技術，頻率達到了約三分之二，但輸出功率只有0.7％
的水平，因此仍然需要繼續迭代、提升才能商用。
功率、頻率都還低很多。對比ASML的技術，頻率達到了約三分之二，但輸出功率只有0.7％
的水平，因此仍然需要繼續迭代、提升才能商用。
心得/評論：
每次看中時集團的新聞都覺得好好笑
標題很會下～生產3奈米？
內文193nm DUV ~只能生產65nm好嗎？
要搭配immersion 才能做40nm以下到7nm
你光能量只有ASML的0.7%，到底樣泡水裡面？
笑死人
※必需填寫滿30正體中文字，無意義者板規處分
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.138.20.95 (臺灣)
※ 作者: enouch777 2025-03-25 15:19:57
※ 文章代碼(AID): #1dubaWLu (Stock)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Stock/M.1742887200.A.578.html
噓 : 吹起來1F 03/25 15:20
推 : 中又贏2F 03/25 15:21
噓 : 之前都手刻5奈米了，3奈米算什麼？3F 03/25 15:21
推 : 為啥可以下這個標題？4F 03/25 15:21
→ : 中又贏麻5F 03/25 15:22
噓 : 中國又在吹了6F 03/25 15:22
→ : 中國哪次不成功7F 03/25 15:22
推 : 開頭先寫明中時 可以節省很多人時間8F 03/25 15:23
推 : 讚喔又贏了9F 03/25 15:23
→ : 涼綠呢？10F 03/25 15:23
推 : 鍾幼瑩11F 03/25 15:24
推 : 深淵大突破12F 03/25 15:24
噓 : 騙我時間13F 03/25 15:24
噓 : 喔是喔14F 03/25 15:25
推 : 不懂的人會以為很屌啊15F 03/25 15:26
推 : 這種文一出鹿港就是至少緩跌半年16F 03/25 15:26
→ : 笑死 實驗室生產 有屁用 連良率都沒有的製程17F 03/25 15:27
噓 : 結果還是不能用18F 03/25 15:27
噓 : 中時的19F 03/25 15:28
推 : 拜託你快點傾全國力量去做 有多少做多少20F 03/25 15:28
推 : 前面吹完嚇死人，後面一看0.7%笑死人21F 03/25 15:28
→ : 0.7%==22F 03/25 15:29
推 : 東升西降 中國或成最大贏家23F 03/25 15:30
推 : 贏麻了24F 03/25 15:32
推 : 良率呢？25F 03/25 15:32
→ : 三星和Intel連拿到EUV也作不出像樣的東西來26F 03/25 15:32
推 : 最後一句是重點~不能商用27F 03/25 15:32
→ : 你想追上還早28F 03/25 15:32
→ : 反正已經是中美的事 跟台無關惹29F 03/25 15:33
推 : 反觀30F 03/25 15:33
推 : 記者只要抄文章了事就好了 真正的薪水小偷31F 03/25 15:34
噓 : 有沒有陸吹 快點出來吹 我來笑32F 03/25 15:34
推 : TSMC DIE!33F 03/25 15:35
推 : 丸子 買些台G壓壓驚34F 03/25 15:36
推 : 這是好事，多浪費一點電啊嘻嘻35F 03/25 15:37
噓 : 智障新聞36F 03/25 15:37
推 : 難怪台積電一直崩，原來早知道了37F 03/25 15:37
噓 : 良率？繼續吹38F 03/25 15:38
推 : 雷射平均功率70mW XDDD39F 03/25 15:38
推 : 讚 習近平趕快補助中芯多買一點40F 03/25 15:39
→ : 東升西降 以太平洋來看41F 03/25 15:39
噓 : 好了啦，七奈米良率先起來再說42F 03/25 15:40
→ : 為什麼要一直發智障新聞43F 03/25 15:41
推 : 還笑的出來啊…44F 03/25 15:42
推 : 我大中國不是早量產ㄧ奈米了？45F 03/25 15:42
推 : 你只能相信有東方神秘力量46F 03/25 15:43
推 : 永遠成功 每失敗過 好神話的民族47F 03/25 15:43
![[圖]](https://imgur.disp.cc/45/FKAxchN.jpeg)
推 : 不是3米嗎？49F 03/25 15:43
![[圖]](https://imgur.disp.cc/45/QxW2ZqZ.jpeg)
→ : 文組…52F 03/25 15:44
中國科學家開發突破性固態 DUV 雷射光源，可應用半導體製造設備 | TechNews 科技新報
![[圖]]()
國際光電工程學會（SPIE）報導，中國科學院（CAS）研究人員成功研發突破性的固態深紫外（DUV）雷射，能發射 193 奈米的相干光（Coherent Light），該波長目前被用於半導體曝光技術。而這項技術已在中國實驗室實現。 如果光源技術能夠擴展，此裝置就可以用來製造曝光設備，但至於固態雷射是否 ...
![[圖]](https://img.technews.tw/wp-content/uploads/2024/11/15090817/ASML_EF_Cleanroom_System_Integration_Dec2020_06.jpg)
推 : 現實中 越會吹的 越沒有自信 看看三星54F 03/25 15:45
推 : 這是工商日報耶…55F 03/25 15:46
推 : 太強啦祖國 麻煩小米oppo別再用美麗國高通了好嗎56F 03/25 15:46
→ : 這篇寫的比較詳細57F 03/25 15:46
→ : 不是，原來是中國時報…58F 03/25 15:46
→ : 灣灣製的高通晶片到底有啥好59F 03/25 15:47
推 : 十年前的技術..60F 03/25 15:48
推 : 神速 這樣要世界第一遲早的事61F 03/25 15:48
噓 : 聯合重工系統62F 03/25 15:49
噓 : 贏麻了63F 03/25 15:49
噓 : 彎道超車 厲害了64F 03/25 15:51
推 : 低頻光怎麼轉高頻光？65F 03/25 15:55
噓 : 真的贏麻了66F 03/25 15:55
噓 : 別說了 我們繼續找白手套買台積電晶片67F 03/25 15:55
→ : 70mW……68F 03/25 15:56
推 : 應該是混著講了,3奈米大概是看華為專利來的69F 03/25 15:56
推 : 但是5年之內要小心就是了 到時GG 3000不知道穩嗎70F 03/25 15:57
推 : 迭代到能3奈米商用，ASML都不知道已經0.幾奈米了71F 03/25 15:57
噓 : 搖搖領先，雙贏72F 03/25 15:58
推 : 別家用超過20年的技術現在才弄到0.7%能量還能蝦吹73F 03/25 15:59
→ : 有時候覺得支吹很容易滿足
→ : 有時候覺得支吹很容易滿足
推 : 遙遙領先喔75F 03/25 16:00
→ : 獨門秘技就是找白手套跟GG下單76F 03/25 16:04
→ : 台積電是不是有人跑去技轉77F 03/25 16:05
噓 : 中國或成最大贏家78F 03/25 16:07
→ : 中時、聯合報不知道拿了共產黨多少錢，整天吹中國高
→ : 大上
→ : 中時、聯合報不知道拿了共產黨多少錢，整天吹中國高
→ : 大上
噓 : 甘五口林81F 03/25 16:11
噓 : 閱~82F 03/25 16:11
噓 : 哇 中時83F 03/25 16:12
→ : 總裁蔡衍明表示，媒體的責任，講求一個「真」
→ : 總裁蔡衍明表示，媒體的責任，講求一個「真」
推 : 根本就是內耗。85F 03/25 16:12
噓 : 雙贏 贏兩次86F 03/25 16:13
推 : 手刻晶片 繼續騙補助87F 03/25 16:14
推 : 只有0.7%的功率為何叫重大突破？88F 03/25 16:15
→ : 三奈米良率0.1%？這樣能幹嘛？89F 03/25 16:16
推 : 祖國偉哉吹起來90F 03/25 16:16
推 : 70mW是雷射筆喔…91F 03/25 16:16
推 : 一定是手刻晶片92F 03/25 16:19
→ : 去年不是要搞光刻廠93F 03/25 16:20
推 : 還以為是手刻進度到3奈米了94F 03/25 16:21
噓 : 大媽手刻或成最大贏家95F 03/25 16:21
推 : 這新聞我看好幾年了96F 03/25 16:24
推 : 這不是很久以前的技術嗎97F 03/25 16:30
推 : 新聞一堆爛標題不是第一天了 有傾向的新聞幾乎都會98F 03/25 16:32
推 : 中國一定強 中國一定強 一起唱！！99F 03/25 16:36
噓 : 急了100F 03/25 16:39
推 : 哦哦哦真的假的，原來是中屎報系101F 03/25 16:41
推 : 支或淫102F 03/25 16:42
推 : 是喔是喔真都假都103F 03/25 16:45
推 : 反正習包子也不懂能騙補助就好104F 03/25 16:46
噓 : 中時食屎105F 03/25 16:48
→ : 先量產再說吧...106F 03/25 16:49
噓 : 詐騙新聞zzz107F 03/25 16:53
噓 : 笑死 反正全靠吹108F 03/25 16:56
噓 : 老師傅手工奈米級芯片是吧109F 03/25 16:57
推 : 70mW 還差1000倍110F 03/25 16:59
推 : 彎道超車111F 03/25 17:01
噓 : 手刻早就發展出來了112F 03/25 17:03
→ : 叫deepseek先用啊 不要向輝達買113F 03/25 17:06
推 : 手刻晶片114F 03/25 17:11
推 : 問就是中又贏115F 03/25 17:12
推 : 0.7% XDDDDDD116F 03/25 17:21
推 : 繼續騙補助117F 03/25 17:22
推 : 去用百倍價買台積電2奈米，再磨字，萬倍價跟共慘要118F 03/25 17:31
→ : 補助，就搞定
→ : 補助，就搞定
推 : 無法商用也先吹再說，這很中國120F 03/25 17:34
→ : 不曉得離商用階段還要多久121F 03/25 17:39
噓 : 中時日常122F 03/25 17:51
推 : 呼呼呼123F 03/25 17:53
推 : 難怪鹿港大漲124F 03/25 17:54
→ : 笑死125F 03/25 17:56
推 : 彎道超車 開卷126F 03/25 18:05
→ : 0.7趴的功率0.0？127F 03/25 18:12
→ : 這樣要商用是不是只能力大磚飛
→ : 這樣要商用是不是只能力大磚飛
推 : 唐湘聾吹好幾天了，我聽到笑到流眼淚129F 03/25 18:19
噓 : 統戰新聞台不必看130F 03/25 18:26
推 : 麒麟9020都追上台積電5nm了，下一次就是追上3或4nm131F 03/25 18:33
推 : 研發最新最利最高科技的美工刀132F 03/25 18:38
推 : 太牛逼了133F 03/25 18:38
→ : 中時134F 03/25 18:42
噓 : 中屎的日常135F 03/25 18:48
推 : 肯做肯試推136F 03/25 18:48
推 : 看到中時就先打1折137F 03/25 18:59
推 : 又贏138F 03/25 19:01
噓 : 中國又贏了139F 03/25 19:11
噓 : 快科技哪根蔥140F 03/25 19:21
推 : 是30年老師傅施工的嗎?141F 03/25 19:24
推 : 小熊維尼國不是已經0.3奈米了嗎？142F 03/25 19:28
→ : 爻爻領先143F 03/25 19:29
推 : 沒藥醫144F 03/25 19:31
推 : 可以用在3奈米這句話本身就很有趣145F 03/25 19:43
→ : 因為3nm還是需要些比較舊的機型
→ : 因為3nm還是需要些比較舊的機型
推 : 0.7%…水就吸收了吧147F 03/25 19:52
推 : 貼牌148F 03/25 19:57
推 : 詐騙之國149F 03/25 20:07
推 : 不吹不黑...中必贏 又贏 雙贏 贏兩次 贏麻了!!150F 03/25 20:07
→ : 搖搖領先151F 03/25 20:10
噓 : 準分子雷射很久了...講得很潮一樣152F 03/25 20:24
推 : 吹幾次了?十五年前就說超越臺雞雞153F 03/25 20:34
→ : 全世界研發都贏不了中國154F 03/25 20:37
推 : PTT有再酸葡萄了155F 03/25 20:44
推 : 70mW…throughput會很慘…156F 03/25 20:52
推 : 100台同時用不就70%？ 200台140% 贏麻了157F 03/25 21:00
→ : 輸出功率笑死XD,用duv良率能上來再吹吧158F 03/25 21:22
推 : 手磨3nm159F 03/25 21:34
推 : 光力過剩….160F 03/25 22:22
→ : 怕死了，明天全部出清艾斯摸餌161F 03/25 23:34
推 : 中國最會表面工程 包括標題都是162F 03/26 00:19
推 : 鐘又淫163F 03/26 00:19
推 : 再研發個30年進入量產 遙遙領先164F 03/26 01:14
→ : 中騙子 美強盜，韭菜喜歡那個呢？165F 03/26 07:23
推 : GG大利多166F 03/26 08:15
→ : 中又贏167F 03/26 08:32
噓 : 大外吹168F 03/26 09:30
→ : 這個大概10年前就有了 不過功率不足169F 03/26 11:11
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2樓 時間: 2025-03-26 09:25:52 (台灣)
→
03-26 09:25 TW
中國的問題其實不是製造，是沒有需求。經濟的三架馬車中「出口」、「消費」、「投資」早就熄火兩年以上了；歐美等國家貿易圍堵中國，導致中國外銷屢創新低；國內民眾對未來極度缺乏信心，所有的錢基本都存起來(不消費)，導致消費低迷；地方政府債務缺口嚴重，絕大部分中央政府轉支付都用來還債務利息，無法繼續透過投資拉抬經濟。現在只剩下中央政府有錢能進行投資，而投入的新質生產力產業，其產品又主要跟外貿綁定，與急迫需要改善的民生消費無關，這唯一的活棋也走向死路。
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