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※ 本文為 MindOcean 轉寄自 ptt.cc 更新時間: 2021-04-13 08:49:18
看板 Gossiping
作者 ams9 (大發利市)
標題 [新聞] 台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣
時間 Mon Apr 12 20:52:11 2021

備註請放最後面 違者新聞文章刪除

1.媒體來源: 自由時報

2.記者署名: 記者洪友芳／新竹報導

3.完整新聞標題:

    台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣 可蓋電廠利用發電

4.完整新聞內文:

    2021/04/12 05:30

    半導體業先進製程進入極紫外光（EUV）微影技術時代，台積電率全球業界之
    先，在七奈米、五奈米製程成為第一家採EUV製程的半導體廠，超越英特爾、
    三星，但EUV耗電大也被視為一大隱憂。台積電前研發副總經理、現任清華大
    學講座教授林本堅指出，昂貴的EUV機台設備不僅花費多、耗電也多，氫氣用
    量也相當多，生產後的氫氣足以建氫氣發電廠，他建議政府可將氫氣發電列
    為發電能源。


    EUV是七奈米及其以下先進製程必要的關鍵設備，全球能生產製造EUV機台設
    備的僅荷商艾司摩爾（ASML），每台售價超過三十億台幣，非常昂貴，台積
    電在南科十八廠的五奈米製程首度全採用EUV，估計去年就裝機逾三十台，帶
    動台積電資本支出逐年攀新高；EUV因光源反射過程耗損大，能源轉換極低，
    耗電量相當大。


    發明浸潤式（Immersion）微影技術改寫全球半導體業發展的林本堅表示，隨
    著半導體技術往先進製程發展，「微影勢必要跑到EUV」；他說，半導體廠要
    進入EUV擁有「五多」條件，包括昂貴設備需要花很「多」錢、龐大設備需求
    空間也「多」、用水「多」、用電「多」、需求氫氣也很「多」。



    氫氣發電無二氧化碳等汙染

    林本堅舉例，他在台積電還沒退休、約五年多前，當時公司內的EUV設備可能
    只有二到三台，但廠區加上其他設施每天使用氫氣量約要運送一輛槽車，以
    目前EUV設備機台數，恐要幾十輛槽車氫氣用量，如此用量，足以支持建一個
    氫氣發電廠；氫氣發電不會有二氧化碳等汙染問題，國外已有氫氣發電廠，
    這當然也要看成本，但他認為應該划得來。


    林本堅建議，政府可協助規劃用地建氫氣發電廠，不只台積電用到氫氣，其
    他半導體廠也都要使用氫氣，集中起來變發電廠就是最好的綠色能源。


5.完整新聞連結 (或短網址):

    https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442560
台積前副總林本堅建議︰ EUV製程回收氫氣 可蓋電廠利用發電 - 自由財經
[圖]
〔記者洪友芳／新竹報導〕半導體業先進製程進入極紫外光（EUV）微影技術時代，台積電率全球業界之先，在七奈米、五奈米製程成為第一家採EUV製程的半導體廠，超越英特爾、三星，但EUV耗電大也被視為一大隱憂 ...

 

6.備註:
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.226.220.33 (臺灣)
※ 文章代碼(AID): #1WT49zD8 (Gossiping)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1618231933.A.348.html
→ gogobar …
噓 gogobar: 母豬蔡陰魂廢核電,現在才在那邊東湊西湊,可悲到極點1F 04/12 20:52
推 userpeter:2F 04/12 20:53
推 cwh0105: ㄟ所以本來沒有喔 我以為汽電早就有在做了3F 04/12 20:55
→ hoin: 1F大概不知道林本堅是什們人物4F 04/12 20:55
推 wincentt: 國家給台積電經營好了~資進黨真的是廢物5F 04/12 20:55
推 adagiox: 挺有意思的 原本氫氣發電貴在氫氣運輸、氫成本也不用6F 04/12 20:56
推 nctugoodman: 台積去年之接買了沃旭 34.5億度/年 發電 共20年7F 04/12 20:56
→ adagiox: 台積電可真是會Costdown8F 04/12 20:56
推 pin0810: 1F 只認識蔡英文9F 04/12 20:57
噓 darkholy: 別鬧了，氫氣怎麼來的？產生氫氣還是需要一堆電啊10F 04/12 20:59
推 scu96: 無污染 不錯啊11F 04/12 21:00
推 mecca: 他的意思不是製程回收的氫氣順便拿來用嗎?不過既然可以回收12F 04/12 21:02
→ mecca: 幹嘛不繼續用在製程??這篇看沒有
推 chihyu729: 聽起來問題應該是發電功率高不高，樂觀其成14F 04/12 21:03
推 saygogo: 10只看新聞標題嗎15F 04/12 21:03
推 newwind: 用過後。 純度不夠了吧16F 04/12 21:03
噓 wvotyyj5: 如果不小心炸掉就屎定了17F 04/12 21:05
推 F93935: 噓文的可能不知道林本堅多神 可悲18F 04/12 21:05
推 ai8051: 一個讓ASML嚇到閃尿的人物19F 04/12 21:08
推 riker729: 回收氫氣發電啦! 但怕的是混雜有毒物.......20F 04/12 21:08
推 panzerbug: 台積電廠，吊打台電21F 04/12 21:09
→ Refauth: 所以林本堅到底是什麼人物？還是什們人物？？22F 04/12 21:10
推 tedchen1025: Ben 的 immersion lithography真的是神來一筆，說真23F 04/12 21:11
→ zzoohh: 聽起來蠻好的24F 04/12 21:11
→ tedchen1025: 的 真的會咬人的狗是不會叫的25F 04/12 21:11
→ vdml: 要用燒的還是用燃料電池模組?26F 04/12 21:16
→ richard42: 台積電自己蓋電廠吧 別再用台電了27F 04/12 21:16
推 leoloveivy: who cares28F 04/12 21:16
推 tokyoto: https://reurl.cc/xg8xaV 他愛台灣就贏那些叛將十條街了29F 04/12 21:17
台積電關鍵技術推手 林本堅婉拒中企挖角 - 自由財經
[圖]
六年前退休轉任教清大 〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅接受本報專訪首度坦承，二○一五年十一月自台積電退休後，中國一些半導體公司想找他去主持研發，但他毫不考 ...

 
→ jerrylin: 台灣有專門做氫氣的公司啊  聯華30F 04/12 21:17
推 nitvx: 台GG直接自己蓋電廠吧31F 04/12 21:18
推 a12349221: 缺電危機開始32F 04/12 21:19
推 king84519: 他誰有執政黨專業嗎？33F 04/12 21:24
推 feliz5566: 不知道成本效益如何34F 04/12 21:28
推 pandp: 政府就是要規劃缺電的，不要破壞規劃35F 04/12 21:32
推 babyMclaren: 小菸說藏電+綠能夠用就是夠用36F 04/12 21:34
噓 dawson0130: 1F 水準真的有夠....？37F 04/12 21:36
推 gaduoray: 是回收的純度不夠EUV用才拿來發電吧 不過會讓人好奇現38F 04/12 21:37
→ gaduoray: 在的廢氫都哪裡去了XD
推 marknm: 這樣自己還需要買綠電？？？40F 04/12 21:38
→ G8AJ: 能做早做了41F 04/12 21:41
推 rock0807: 把DUV操到七奈米的史詩級人物42F 04/12 21:49
推 gglong: 氫氣怎麼生產43F 04/12 21:49
推 info1994: 做回收的只要沒良心就很賺錢啊44F 04/12 21:50
推 pipiayin: 台積電居然會浪費氫氣 難以想像45F 04/12 22:04
推 ots625: 廢氫與其他化學氣體一起燒啊？46F 04/12 22:19
推 kissa0924307: 天然氣電廠需要氫氣冷卻發電機啊~ 用量其實也不小47F 04/12 22:22
→ gungunme5566: 我怎麼看不懂這篇氫氣怎麼來的48F 04/12 22:22
→ zzahoward: 台灣產氫氣的廠很多啊 三福聯華亞東國喬....等49F 04/12 22:27
→ zzahoward: 高純度的主要是進口乙醇裂解 中低純度的就是石化副產品
推 shuhao233: 現在回收氫效率足以發電了喔? 有沒有人能講一下?51F 04/12 22:39
推 ankrro: 回收剩不到80趴，純度也差一點，輸送還是要用到電，應該是52F 04/12 22:55
→ ankrro: 賠錢不討好，然GG早做了
→ ijnokm: 沒有林本堅，可能就沒有現在的ASML54F 04/12 23:08
→ qaz630210: 就像台塑自己蓋海淡廠一樣，台GG這麼賺又這麼耗能，是55F 04/12 23:11
→ qaz630210: 該自己蓋電廠創造多贏
→ jjez168: 林本堅是讓ASML跟台積電一起走向稱霸的關鍵人物57F 04/12 23:21
推 myth0422: 蓋電廠跟經營電廠是兩回事 請三思58F 04/12 23:21
推 Eclipsis: 科學人第42期封面文章講浸潤式微影術那期還留著都小學59F 04/12 23:30
→ Eclipsis: 中年級的事了
推 p1227426: 你自己蓋電廠呀61F 04/12 23:35
推 Rucca: 反核：氫氣發電會不會爆炸？62F 04/13 00:11
推 aitela: 推林本堅教授63F 04/13 02:45
噓 raxjimmy: 那製作氫氣的能量哪裡？64F 04/13 03:02
噓 ggcggc: 推文一堆文組 笑了65F 04/13 04:11
噓 daye2012: 這篇在寫什麼啊，EUV用氫氣用很凶，然後要求蓋氫氣發電66F 04/13 08:36
→ daye2012: ？
推 newtana: 噓的是文盲看不懂在講什麼嗎? 啊抱歉我忘了柯韓糞的水準68F 04/13 08:45

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(￣︶￣)ｂ a0987789369, JosephC0227, sin8143 說讚！
1樓 時間: 2021-04-12 21:48:25 (台灣) 
→
dohee
　 04-12 21:48 TW 
喔喔
2樓 時間: 2021-04-12 21:53:04 (台灣) 
→
windices
+1 04-12 21:53 TW 
推 mecca: 他的意思不是製程回收的氫氣順便拿來用嗎?不過既然可以回收12F 04/12 21:02
→ mecca: 幹嘛不繼續用在製程??這篇看沒有
----純度問題，就這樣，但是用在燃燒發電上還可以
3樓 時間: 2021-04-12 22:58:46 (台灣) 
→
mebius
　 04-12 22:58 TW 
國民黨:我們懷念核四
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