回看板
Disp BBS
看板 Tech_Job
作者 summer3827 (小太陽)
標題 [新聞] 陸首台100％自產高端晶圓切割機問世
時間 Sun Jul 16 20:29:18 2023

中國光谷微信公眾號11日消息，接連突破一批「卡脖子」技術、先後創下半導體雷射設備領
域等60多項「中國第一」的大陸華工科技，再下一城，旗下華工雷射半導體，已製造出中國
首台核心零組件100％國產化的高端晶圓雷射切割設備。


　大陸華工雷射半導體產品總監黃偉指出，半導體晶圓屬於硬脆材料，在12吋晶圓上有數千
顆甚至數萬顆晶片，晶圓切割和晶片分離無論採取機械或雷射方式，都會因物質接觸和高速
運動而產生熱影響和崩邊，從而影響晶片性能，因此，控制熱影響的擴散範圍和崩邊尺寸是
關鍵。


　黃偉說，機械切割的熱影響和崩邊寬度約20微米（0.001 公釐），傳統雷射在10微米左右
；此外，切割線寬的減少，意味著晶圓能做到更高的集成度，從而使得半導體製造更經濟、
更有效率。



　去年起，黃偉團隊對半導體晶圓切割技術，展開微奈米級雷射加工的迭代升級、攻堅突破
，「最忙時我們團隊20多人兩班倒輪流做測試實驗和產品優化，設備24小時不停。」


　經過一年努力，半導體晶圓切割技術成功實現升級，熱影響降為0，崩邊尺寸降至5微米以
內，切割線寬可做到10微米以內。

　按照生產一代、研發一代、儲備一代的理念，華工雷射正在研發具備行業領先水準的第三
代半導體晶圓雷射退火設備。

　2000年6月，頂著「中國雷射第一股」光環，華工科技在深交所上市。作為華中科技大學
校辦企業，依託大學在雷射領域的技術積累和研發優勢，以及資本市場的融資便利，華工科
技從銷售額不到億元人民幣的「小塊頭」，快速成長為首批大陸國家創新型企業。


　根據SEMI（國際半導體產業協會）數據，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021
年明顯提升，從21％提升至35％；大陸國內半導體設備在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及CMP
領域內國產替代率


04:102023/07/12 旺報 李文輝╱綜合報導

https://www.chinatimes.com/amp/newspapers/20230712000663-260303
陸首台100％自產高端晶圓切割機問世 - 日報 - 中時新聞網
[圖]
中國光谷微信公眾號11日消息，接連突破一批「卡脖子」技術、先後創下半導體雷射設備領域等60多項「中國第一」的大陸華工科技，再下一城，旗下華工雷射半導體，已製造出中國首台核心零組件100％國產化的高端晶圓雷射切割設備。 ...

 

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.137.85.153 (臺灣)
※ 作者: summer3827 2023-07-16 20:29:18
※ 文章代碼(AID): #1ai-AWzG (Tech_Job)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1689510560.A.F50.html
→ sunnyhung: 贏了…....1F 07/16 20:37
推 qk3380888: 贏麻了2F 07/16 20:41
推 Peter911: 可是晶圓本身做不好是要拿什麼切?3F 07/16 20:42
推 Roken241225: Disco:4F 07/16 20:46
推 roger2: 說這麽多 還不就是Die saw機台 =.=5F 07/16 20:50
→ jjrdk: 大概就已知使用雷射而已6F 07/16 20:55
推 h9602b: 穩！7F 07/16 20:56
推 godog: 中國大陸自己造 台灣用買的就好了8F 07/16 20:57
推 li118: 慘了 準備要卡美國脖子了，中又贏9F 07/16 21:13
→ Peter911: 要卡啥 切完良率會變高嗎10F 07/16 21:17
推 crystallake: 這跟兩個醫生用的那個會比較不痛嗎？！！！11F 07/16 21:41
推 AXby: Disco表示12F 07/16 22:22
推 Merman19: 都生不出先進製程了是要切個寂寞是嗎？13F 07/16 22:28
推 zonppp: 中又贏14F 07/16 22:44
推 givered: die saw機台也可以吹，笑死15F 07/16 22:53
→ faniour: 懂割16F 07/16 23:15
推 mepass: 割的是韭菜吧17F 07/16 23:20
→ stocktonobrk: 團隊20多人...嗯,技術含量一定很高!!!18F 07/16 23:34
噓 jgoodman: 中或贏19F 07/16 23:52
噓 cityhunter04: 雷射切割機？這種東西要自己研究？20F 07/17 00:10
噓 dearober: Dicing跟laser anneal是要吹什麼==21F 07/17 00:55
推 Madao0149: 哪個晶圓廠良率的key在die saw?22F 07/17 01:21
→ WSY000000000: 雷射第一股？不是大族嗎？23F 07/17 02:09
推 ab304044: disco disco 讚讚～ disco disco 讚讚～24F 07/17 03:39
推 lahugh: 超台趕歐美 世界第一25F 07/17 05:43
推 kyle5241: 但如果可以做出高品質雷射退火的話是不錯 目前要做出穩定雷射其實蠻困難的26F 07/17 05:55
推 Akitsukineko: 做出die saw是不是可以贏過dyson？28F 07/17 06:27
推 michelin4x4: 中國在雷射領域 算是不落後的29F 07/17 06:58
推 viewer1946:  https://i.imgur.com/x7lUiOu.jpg30F 07/17 07:02
[圖]
→ GGing: 做出 die saw 應該贏大創 daiso 了31F 07/17 07:04
→ laechan: 中或贏32F 07/17 07:36
推 BosRedsucks: 贏麻了33F 07/17 07:49
推 lin77616: 卡什麼脖子，不會自己生喔。34F 07/17 07:59
→ Akitsukineko: 老鼠脖子35F 07/17 08:01
推 smalljacky03: 中又贏36F 07/17 09:26
推 qwe172839: 下次就改吹P&P了 笑死37F 07/17 12:24
推 tokeyohop: 晶圓晶片設計做不起來  做個晶圓切割能幹嘛 ？一種沒有米有電鍋的概念38F 07/17 13:01
推 venomsoul: Disco: 好喔40F 07/17 13:40
推 kkk99923: 算不錯吧 任何人都有起步的時候41F 07/17 14:53

--
作者 summer3827 的最新發文:
點此顯示更多發文記錄