要造出EUV需要用「100,000個零件,來自美國、英國、西歐、日本等主要幾個區域或國家的 5,000家供應商」。
EUV光刻機的最核心技術EUV,其實不是ASML自己的技術,而是來自美國,是美國「授權」ASML生產EUV光刻機。
EUV光刻技術曾經認為是不可能的。日本公司如佳能(Canon)、尼康(Nikon)等都陸續放棄了研究。然而在1990年初期,美國能源部資助的幾個美國國家級的實驗室,研究EUV光刻技術,終於取得重大突破。美國政府和Intel等一堆美國公司一道,成立了一個EUV LLC聯盟,奠定了EUV光刻技術的基礎。在美國的科研機制下,由國會撥款的研究成果知識產權屬於美國政府,但美國政府自己不能生產盈利,所以必須把這些成果向公司授權生產,授權必須得到國會和政府認可。而ASML就是當年向美國政府申請授權的公司之一,另外一家獲得授權的公司是美國的SVG。但是後來,ASML又收購了SVG。於是ASML就成為唯一獲得授權生產EUV光刻機的公司。