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看板 Tech_Job
作者 標題 [心得] 半導體製程整合心得
時間 Wed Feb 2 11:56:09 2022
由於小弟在Fab也做了幾年製程整合，這邊整理一下製程整合會碰到，而且需要具備
的相關知識心得。希望可以對想要進入或剛進入製程整合的新人有所幫助~
如果有誤，再麻煩指正，感謝~
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首先，整個半導體產業最終的目的就是做出可以運算/感測/放大...各種訊號的晶片
，所以一定要記得，Fab做出來的東西是要通電的。有很多做製程的工程師，做到最後對
製程很熟悉，但是卻不知道為什麼要這麼做
，所以一定要記得，Fab做出來的東西是要通電的。有很多做製程的工程師，做到最後對
製程很熟悉，但是卻不知道為什麼要這麼做
(Ex:為什麼要HKMG? 為甚麼要contact下面一定要重參雜? 為什麼poly也要打IMP?)
我們可以先看下面這張電路階層圖，這張圖由下到上展現了從元件開發到電路設計的
關係，從最下面的MOS/電阻/電感...到上面的邏輯閘，再到最後設計出的電路功能。
https://imgur.com/ad1HQIV
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/ad1HQIVh.jpg)
這張圖中展示了Fab和豬屎屋之間的關係，Fab是Bottom up來看電路，主要負責各種
Device特性開發，例如:MOS/Cap/電阻/電容...。而其中就牽涉到半導體元件，製程，量
子物理，光學，化學...等等基礎科學。
Device特性開發，例如:MOS/Cap/電阻/電容...。而其中就牽涉到半導體元件，製程，量
子物理，光學，化學...等等基礎科學。
另一方面，豬屎屋則是Top down來看電路，從一開始晶片應用領域(是CIS，HPC，還
是高壓電路?)，到電路設計/模擬...，主要需要熟悉電子電路，數位，類比，計算機...
。
是高壓電路?)，到電路設計/模擬...，主要需要熟悉電子電路，數位，類比，計算機...
。
而其中，PDK就扮演了溝通橋梁，PDK內含的平台文件就可以讓Designer知道，各種電
子元件會出現的Performance，並且進行模擬/設計。而PDK也會讓製程整合知道，製程
Spec該如何制定卡控。
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而從製程平台的角度來看，可以分成幾個階段
https://imgur.com/cre4aqz
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/cre4aqzh.jpg)
1. 製程平台開發
主要由TD或RD執行，這階段需要了解客戶會用到甚麼樣的元件，操作電壓，漏電大小，
SOA...，並且搭配場內製程，來開發元件。而有了基本的製程flow，就可以實際跑實驗
Lot，撒split條件，確認有沒有打到目標。
實驗Lot跑完了，就可以準備做model，這時就要提供Si data給model team，生出SPICE
model，也要制定電性 spec，最後才能送Qual驗證可靠度
而其中也牽涉到IP驗證，IP需要在廠內製程Run過之後，才能實際送給IP house驗證，避
免因製程差異而function異常。
2. 製程平台改良
主要由TD執行，平台OK之後，客戶才會下單NTO，而過程中製程整合需要做窗口，不管是
DRC有問題，產能時程問題，各式各樣的問題都要回答客戶。
而初期Pi-run，需要確認各項製程Window足夠，有了製程Window才有電性Window，最後才
有良率Window
3. 製程平台量產
初期Pi-run結束後，到一定量，就會轉量產，量產就會專門做製程改善，Inline Cpk改善
，抓commom tool，產能改善...
https://imgur.com/Pl9qP2K
https://imgur.com/Suqou1k
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/Pl9qP2Kh.jpg)
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/Suqou1kh.jpg)
老實說，製程整合在Fab真的需要蠻長的訓練期，1~2年可能都還是新人，做不出什麼貢獻
，畢竟初期光是要把製程和電性關係了解，就要花很多時間。所以一開始都在帶Lot。
而製程和電性關係了解之後，才可能去調動製程條件，把電性做調整。而這一切的核心其
實還是半導體元件物理，真的建議找本課本，或開放式課程看看。
製程整合在Fab需要接觸很多面向，幾乎甚麼事情都會變成整合要做Owner
(Ex:
產品Low yield --> 整合找module 討論root cause
Device Qual不過--> 整合找Q 討論root cause
Pi-run交期太慢 --> 整合找生管幫忙)
所以整合常常要做溝通橋梁，一邊是客戶，一邊是廠內Module，很需要溝通技巧，合作能
力
而接觸面廣，有好處也有壞處。整合可能是process懂一點，Model懂一點，Device懂一點
，良率分析懂一點，Qual懂一點...。但反過來說，也是因為什麼都要碰所以也才能與豬
屎屋溝通，所以也有人之後就跳去客戶端發展。
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推 : 雖然都是產線三寶，不過打的算詳細48F 02/02 13:45
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→ : GG PID: 你在說什麼？ 我只知道帶貨、ppt、excel跟H61F 02/02 14:28
→ : L module
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推 : 非常精準63F 02/02 14:32
推 : 用心64F 02/02 14:34
推 : gg pid: 我只會od loop65F 02/02 14:40
→ : 蝦咪係NTO?
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推 : 推認真！67F 02/02 14:42
→ : 笑死，L/Y 找媽久討論這種話你們說的出來喔，不都68F 02/02 14:45
→ : 馬是HL製程跟設備，叫他們生report出來給你們抄著
→ : 看
→ : 馬是HL製程跟設備，叫他們生report出來給你們抄著
→ : 看
推 : 真的很用心，我對應的整合窗口只會裝逼把自己當小主71F 02/02 14:47
→ : 管派工，問題一問三不知，查了一下還發現不少菜鳥，
→ : 我都想嗨賴他父母查一下他們家小孩到底有什麼問題要
→ : 好好改善一下不要出來害人
→ : 管派工，問題一問三不知，查了一下還發現不少菜鳥，
→ : 我都想嗨賴他父母查一下他們家小孩到底有什麼問題要
→ : 好好改善一下不要出來害人
推 : U 質75F 02/02 14:49
推 : 推，兩年心得真的是這樣76F 02/02 14:50
推 : 推77F 02/02 14:51
推 : 推分享78F 02/02 15:06
→ : 有時候蠻多module再靠邀整合只會HL 但是當有機會給79F 02/02 15:20
→ : 他們到整合嘗試時 卻又退縮不說話 各位子都有自己
→ : 的苦衷 推文沒必要酸酸
→ : 他們到整合嘗試時 卻又退縮不說話 各位子都有自己
→ : 的苦衷 推文沒必要酸酸
推 : 強者推82F 02/02 15:21
推 : 讚讚83F 02/02 15:23
推 : 優質84F 02/02 15:33
推 : 真神人85F 02/02 15:34
推 : 謝謝分享86F 02/02 15:34
推 : 優文給推，不過GG分工真的太細了，很多人就算做了87F 02/02 15:35
→ : 兩三年還是只會帶貨跟查inline
→ : 兩三年還是只會帶貨跟查inline
推 : 推89F 02/02 15:59
推 : 推，優文90F 02/02 16:02
推 : 整合很容易可以做出價值 也很多人可以做到人人嫌91F 02/02 16:02
推 : 推92F 02/02 16:05
推 : 不懂這些的資深整合到處都是93F 02/02 16:16
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